可提供的泄漏测试方法

1:用质量流量的测试方法，实时测量气体泄漏

 （0.1sccm-5000slpm）

2:用高精度绝压传感器测量产品内压力绝对变化量从而测试出产品泄漏率（0.1sccm-1000sccm）

3:用传统的差压传感器测试产品内部的相对压力变化从而测试产品泄漏率（0.1sccm-100sccm）

4:用氢气作为示踪气体测量产品泄漏率（手动式，可探测漏点，最低可测0.0001sccs）

5:用氦气作为示踪气体测量产品泄漏率（探嗅示，真空式，氦气累积式，最低可测1E-10sccs）